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單溫區微型CVD系統

單溫區微型CVD系統

產品型號: KM-CVD-1200-I-S

所屬分類:單溫區微型CVD系統

產品時間:2019-01-11

簡要描述:KM-CVD-1200-I-S單溫區微型CVD系統管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備,該設備在常規產品上進行了一系列的改進,包括:供氣系統集成、真空系統集成等。體現出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。

詳細說明:

KM-CVD-1200-I-S單溫區微型CVD系統管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備,該設備在常規產品上進行了一系列的改進,包括:供氣系統集成、真空系統集成等。體現出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。

1、雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C;

2、高純狀氧化鋁纖維絕緣層,最大限度節約能源;

3、爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命;

 

項目
型號
KM-CVD-1200-I-S
爐管尺寸Φ60×1000mm (Φ30/50/80/100mm可選)
最高溫度1150℃
工作溫度1100℃
推薦升溫速率≤10℃/min
加熱區長度440mm
功率3KW
電壓單相AC220V, 50Hz
溫控系統K型熱電偶
集成式觸摸屏控制
控溫精度±1 ℃
密封系統爐管兩端配有快開式密封法蘭
外形尺寸620mm(L) ×420mm(W) × 580mm(H)
氣體量程100~1000SCCM
氣路數量2~4路(MFC)
氣路工作溫度5~45℃
VRD-8最大承載量:1000Lbs;抽氣速率:10m³/h;
極限真空度:10-1Pa
真空度雙極旋片機械泵:極限10^-1Pa
分子泵機組:極限10^-3 Pa


 



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